LETOU乐投

产品介绍

PF-300M为LETOU乐投自主研发的串联高产能平台。PF-300M 系列产品可搭载 5 个反映腔，满足客户对分歧工艺和膜厚的高效需要。该平台兼容PECVD高端产品pX、Supra-D，以及PEALD Astra反映腔。PF-300M Supra-D 系列产品是面向先进造程的新一代高端产品，选取全新的独立腔室设计，以优异的薄膜不变性、均匀性、颗粒度阐发实现更严格的工艺指标要求。

产品特点
- 串联的高产能平台
- 可搭配多个反映腔，实现产能的优化配置
- 颗粒度阐发优异
- 通过S2安全认证和F47尺度检验